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FILMETRICS膜厚仪--光电子集成芯片技术中的应用

光电子集成芯片技术包含光电子芯片外延生长、光电子芯片设计与制作、光电子芯片的工艺开发及封装等等。特别是在制作光电子集成芯片的工艺过程中，需要严密控制SiOx，SiNx等膜层的厚度，以求达到工艺效果。FilmetricsF20 白光干涉膜厚测量仪作为一款精度高、测试速度快、操作简便的高性能设备，可以很方便快速的测量这些膜层厚度。