台阶仪的类别与基本原理

关于表面形貌的测量：

表面形貌的测量通常可分接触式与非接触式两种，在各个应用领域中，这两个方法具有互补性，并且各有不同，因此在实际应用以及选择机器的时候，一定要根据具体情况而定，建议先咨询相关的技术工程师。

本期主要说下接触式表面形貌测量仪器：台阶仪

台阶仪根据使用传感器的不同，接触式台阶测量可以分为电感式、压电式和光电式3种。

台阶仪基本工作原理如下：

当台阶仪的触针在被测的物体表面轻轻滑过时，被接触的物体表面微小的峰谷就会让触针在进行滑行的同时也做一些上下运动。因此表面轮廓的情况在一定程度上就被触针的运动情况所体现出来。

以优尼康主推的KLA台阶仪D系列台阶仪和P系列台阶仪为例，简单看下：

触针传感器技术：高度分辨率低于0.1纳米

光学杠杆传感器: D系列台阶仪

电容传感器 (LVDC): P系列台阶仪

所有KLA系列台阶仪探针均由金刚石制成，具有稳定的可靠性

台阶仪相关应用：

• 医用支架台阶高度；药库深度
  ITO薄膜台阶高度；20到200 nm台阶

• 太阳能电池

• 蚀刻工艺

• LED氮化镓外延缺陷检测

• 太阳能板形貌

• 硅片减薄形貌

• 圆角测试