解决方案

非晶态多晶硅于薄膜应用

非晶态多晶硅硅元素以非晶和晶体两种形式存在, 在两级之间是部分结晶硅。部分结晶硅又被叫做多晶硅。 非晶硅和多晶硅的光学常数(n和k)对不同沉积条件是需要有精确的厚度测量。 测量厚度时还考虑粗糙度和硅薄膜结晶可能的风化。Filmetrics 设备提供的复杂的测量程序同时测量和输出每个要求的硅薄膜参数， 并且“一键”出结果。测量范例 多晶硅被广泛用于以硅为基础的电子设备中。这些设备的效率取