HERZ AVI-600系列 主动式防震系统
优尼康科技提供的HERZ AVI-600系列主动式减振台，采用“主动+被动”双模式隔振技术，主动隔振范围0.5–200Hz，被动隔振范围>200Hz，可隔离六个空间方向的振动干扰。系统内置压电加速度传感器与压电换能器，实时探测传入振动并生成反向补偿力，5–20毫秒内完成响应，10Hz以上传输率低于0.017（-35dB），无低频共振、无需气压支持。模块化设计支持自由扩展，单个隔振模块承重600kg，负载范围0–1200kg，通过增加隔振模块数量可将承重提升至5400kg，系统尺寸和配置均可按需定制。AVI-600提供M（720×288×112.5mm）、S（396×288×112.5mm）、XL等不同规格隔振模块，适配各类大型精密仪器。适用于扫描电镜（SEM）、透射电镜（TEM）、超高真空扫描探针显微镜（UHV-SPM）、光刻设备、高精度计量工具、大型干涉仪、轮廓仪、光谱仪器及大型半导体设备等。优尼康科技提供专业技术支持与现场安装服务。
产品详情
| 型号 | 隔振模块尺寸（每个模块） | 载重（每个模块） | 负载范围 |
| AVI-600M | 长x宽x高：720x288x112.5mm | 0-600kg | 0-1200kg |
| AVI-600S | 长x宽x高：396x288x112.5mm | 0-600kg | 0-1200kg |
HERZ AVI-600 work station 主动隔振台
HERZ AVI-600 为紧凑型的主动隔振系统，是纳米技术大型仪器隔振的解决方案。对升级和整合到现有的需要低频隔振功能的设备来说是不错的选择，HERZ AVI-600 work station可自由选择整个系统的尺寸大小和配置，通过增加隔振模块的数量可以增加系统的承重（承重可至9000磅）。
工作原理
AVI系列主动隔振台采用特殊隔振技术，适用于任何科研环境下，该隔振模块可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和竖直方向），AVI系列主动隔振台利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。
产品特点
主动隔振频率 1Hz - 200Hz
被动隔振频率>200Hz
5-20ms的响应时间
安装简单，容易使用
稳定性高，能无故障连续使用多年
紧凑、模块化的多功能设计
控制器带数字LED显示屏
产品应用
| SEM | TEM | UHV-SPM | 光刻 |
| 隧道显微镜 | Fabry-Perot干涉仪 | 大型对振动敏感的仪器设备 | 更多.. |
性能优势
系统主动检测输入振动并动态消除
六个空间方向的自由隔振
系统内部反馈回路控制机械共振
低频隔振性能好
无低频共振、无空气要求
技术参数 |
|
| 隔振范围 | 主动:1-200Hz ;被动: >200Hz |
| 传输率 | 超过10Hz<0.017（ -35 dB） |
| 模块尺寸 | W 11.3” x D 28.4” x H 4.5” (AVI-600) |
| 模块重量 | 60 KG / 132 Lbs |
静态柔度(每个模块) |
|
| 垂直方向 | 约 12 μm / N |
| 水平方向 | 约 6 μm / N |
| 系统噪声 | 低于50nG/√Hz |
| 耗电量 | 通常情况下为27 W（标配） |
| 输入电压 | 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz |
| 控制器尺寸 | 48 x 13 x 25 cm / 19 x 5.1 x 9.8” |
| 性能监控 | 通过在示波器上显示的一个多重信号表示各传感部位是否隔振 |
