F50 薄膜厚度测量仪
自动化薄膜厚度绘图系统
依靠F50的光谱测量系统，可以简单且快速地获得直径450毫米的样品薄膜的厚度分布图。采用r-θ极坐标移动平台，可以快速的定位所需测试的点并测试厚度，测试非常快速，大约每秒能测试两点。用户可以自己绘制需要的点位地图。F50系统配置精度高使用寿命长的移动平台，以求能够做成千上万次测量。
系统中预设了许多极坐标形、方形和线性的图形模式，也可以编辑自己需要的测试点。只需掌握基本电脑技术便可在几分钟内建立自己需要的图形模式。
可测样品膜层
基本上光滑的，非金属的薄膜可以测量。可测样品包括：
