HORIBA Smart SE椭圆偏振光谱仪是一种薄膜测量工具。仅需简单的几个按钮，几秒钟内即可自动完成样品测量和分析，并提供完整的薄膜特性分析报告，包括薄膜厚度、光学常数、表面粗糙度和薄膜的不均匀性、反射率或透过率。它是用于快速薄膜测量和器件质量控制的解决方案。为薄膜测量设计，一键式操作。
HORIBA Smart SE 椭圆偏振光谱仪是一种薄膜测量工具。仅需简单的几个按钮，几秒钟内即可自动完成样品测量和分析，并提供完整的薄膜特性分析报告，包括薄膜厚度、光学常数、表面粗糙度和薄膜的不均匀性、反射率或透过率。它是用于快速薄膜测量和器件质量控制的解决方案。为薄膜测量设计，一键式操作。
可在450nm~1000nm波长内实现快速测量（<1秒）
多种光斑尺寸软件选择
自动装载和调整样品高度（需自动平台）
大面积自动成像（需自动平台）
温控台、液体样品池、电化学反应池、
密封气体池、透过率曲线测量等多种附件
光斑可视系统：HORIBA Smart SE 椭圆偏振光谱仪具备MyAutoView光斑可视系统，可清晰观察光滑或粗糙的样品表面，保证用户可将测量光斑定位在样品目标上的测量位置。
智能诊断：HORIBA Smart SE 椭圆偏振光谱仪仪器维护非常简单，借助完整的操作向导，自动检测并诊断问题，对故障进行处理
灵活多功能选项：HORIBA Smart SE 椭圆偏振光谱仪的入射角度可调，且可用于在线实时监测，具备灵活性。
HORIBA Smart SE 椭偏仪是利用薄膜的光学特性进行膜厚测量的非接触测量方法。基于偏振光反射或透射时的状态变化来测量薄膜的厚度和折射率。当偏振光照射到薄膜表面时，反射光或透射光的偏振状态会发生变化，这种变化依赖于薄膜的厚度、折射率以及入射光的偏振状态和角度。通过分析这些变化，可以准确地推导出薄膜的厚度。
椭圆偏振光谱软件DeltaPsi2功能丰富，它基于WindowsT操作系统，充分利用了HORIBA Scientific（JobinYvon光谱技术）椭偏仪硬件技术的特点，具有众多建模和拟合处理功能，以及简单的操作界面，可为研究者提供便捷的椭偏分析手段。
梯度膜层
粗糙度或界面
材料组份/结晶度
各向异性膜层
薄膜厚度的不均匀性
退偏因子
与材料模型公式相关的完整的属性数据库
对于厚透明样品基底背景光的自动修正
周期变化结构
用户超薄薄膜应用的BLMC算法
多重猜测、多重初值、多重模型、相关性……
表面测量 | 光学特性 | 厚度测量 | |
非晶硅、多晶硅 | 粗糙度 | 光学常数（n，k） | 从几埃到15um |
纳米晶体硅 | 自然氧化物厚度 | 光学带隙Eg | 单层和多层膜 |
透明导电氧化物 | 表面薄膜厚度 | 透射率 | |
增透膜 | 退偏系数 | ||
半导体 | 平板显示 | 功能性涂料 | 生物和化学工程 |
介电薄膜 | TFT | 光学涂层 | 有机薄膜 |
金属薄膜 | OLED | 增透型、自清洁型 | 薄膜吸附 |
高分子、光刻胶 | 等离子显示板 | 表面镀膜和处理 | 表面功能处理 |
PZT膜 | 柔性显示板 | 有机材料 |
光斑尺寸 | 500µmX500µm,250µmX500µm, 250µmX250µm,100µmX250µm, 150µmX250µm,100µmX500µm, 75µmX150µm | ||
测试时间： | 5s，Max1s | 可视系统： | MyAutoView |
更多参数可联系我们获取 | |||
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