HORIBA Smart SE智能型多功能椭偏仪
仪器介绍：
Smart SE智能型多功能椭偏仪是一款针对单层和多层薄膜进行简单，快速，准确表征和分析的工具。
多功能性设计，配置灵活，具备多角度测量能力，可方便实现在线与离线配置切换。
技术参数：
光谱范围：450-1000nm
多种微光斑自动选择
光斑可视技术，可观测样品表面
CCD探测器
自动样品台尺寸：200mmX200mm；XYZ方向
自动调节; Z轴高度>35mm
主要特点：
一键式操作，直接报告输出
液晶调制技术，测量光路中无运动部件
CCD 探测系统，快速全谱输出
多个微光斑尺寸选择，可视技术
多角度测量
可实现在线测量配置
