Smart SE智能型多功能椭偏仪

Smart SE智能型多功能椭偏仪是一款针对单层和多层薄膜进行简单,快速,精确表征和分析的工具。 多功能性设计,配置灵活,具备多角度测量能力,可方便实现在线与离线配置切换。

  • 产品名称: 智能型多功能椭偏仪
  • 品牌: HORIBA
  • 产品型号: Smart SE
  • 产地: 法国


HORIBA Smart SE智能型多功能椭偏仪




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仪器介绍:

Smart SE智能型多功能椭偏仪是一款针对单层和多层薄膜进行简单,快速,精确表征和分析的工具。

多功能性设计,配置灵活,具备多角度测量能力,可方便实现在线与离线配置切换。


技术参数:

  • 光谱范围:450-1000nm

  • 多种微光斑自动选择

  • 专利光斑可视技术,可观测任何样品表面

  • CCD探测器

  • 自动样品台尺寸:200mmX200mm;XYZ方向

  • 自动调节; Z轴高度>35mm


主要特点:

  • 一键式操作,直接报告输出

  • 液晶调制技术,测量光路中无运动部件

  • CCD 探测系统,快速全谱输出

  • 多个微光斑尺寸选择,专利可视技术

  • 多角度测量

  • 可实现在线测量配置








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