Nanosurf AFSEM 真空环境用原子力显微镜

Nanosurf AFSEM 真空环境用原子力显微镜产品介绍：

Nanosurf AFSEM 真空环境用原子力显微镜由GETec与Nanosurf提供,让您能轻松地联合两种功能强大的分析工具，原子力显微镜(AFM)与扫描电子显微镜(SEM)，构造真实的三维表面形貌，精确地测量高度信息、距离信息甚至材料属性，但同时保持了在SEM的大范围视场里定位AFSEM悬臂梁到您想要测量的准确位置上。进而大大地扩展了您的相关显微镜测量与分析的可行性。

Nanosurf AFSEM 真空环境用原子力显微镜产品特点：

• 实时在您的真空环境中进行AFM分析

• 方便集成在SEM中进行相关AFM分析

• 兼容于大多数电镜而不影响SEM正常操作

• 可适配真空腔室环境兼容大气环境测量

• 操作简便而直观

Nanosurf AFSEM 真空环境用原子力显微镜产品优势：

实时在您的电镜中进行AFM分析

原子力显微镜(AFM)与扫描电子显微镜(SEM)的互为补充可以对您的样品进行独特的表征成为可能。AFSEM可以让您同时对您的样品进行高分辨成像，构造真实的三维表面形貌，精确地测量高度信息、距离信息甚至材料属性,但同时保持了在SEM的大范围视场里定位AFSEM悬臂梁到您想要测量的准确位置上。优化的AFSEM工作流(不影响SEM正常运行)确保了高效的操作,而强大的控制软件可以实现智能化的测量、系统操作与数据分析。

SEM-AFM相关性分析

对于产品或材料分析,我们总是期望利用多种技术来进行样品分析，而且寻求参数之间的相关性,而像原子力显微镜(AFM)与扫描电镜(SEM)这类成像技术，我们就希望在同一个准确的位置进行分析!

同步于AFM与SEM的多种其他分析技术工具

因为AFSEM设计保持了全部的SEM功能性，它就可以联合其他的一些标准的SEM分析技术如FIB，FEBID与EDX等，样品无需扫描，而且相对重的或定制的样品台，比如张力牵拉台、纳米压痕台等，都可以轻松地联合在AFSEM中。

兼容于大多数电镜而不影响SEM正常操作

AFSEM适配于大多数SEM或双光束系统(SEM/FIB):它直接地安装在系统腔室的门上,而不改变样品台自身。而且狭小的针尖扫描设计配合了自感应探针系统在电子柱的尖端与样品之间只需要4.5 mm空间即可。所以AFSEM能兼容于大部分标准的与可选的样品台，而且几乎可以处理能放进系统腔室的任何一个样品。这种设计可以在电镜中实现亚纳米级别台阶高度的测量.

操作简便而直观

AFSEM提供了操作的灵活性与智能化定位,三轴粗定位台移动探针进入或者离开SEM的视场中的位置并定位探针到感兴趣的位置,SEM样品台横向移动样品为方便AFSEM与SEM测量:垂直方向上,AFM与可以与样品一起移动,可以让您安全地安全地上下移动样品而不会撞坏AFM探针。通过一个订制的适配板与电路密封件可以在SEM里实现AFSEM的安装,AFSEM可以通过仅仅四个螺丝就可以安装或拆下下来,整个过程可以不到五分钟，可以快速与方便的集成或从系统中移除。探针都预安装在一个标准的接口上，可以快速实现探针更换,因此大大节省了系统的down机时间。因为自感应探针技术与完全自动化探针定位调整,AFSEM系统马上就可以开始进行操作.

Nanosurf AFSEM 真空环境用原子力显微镜部件与附件：

• AFSEM 测量头

• AFSEM工具套装（包含探针）

• 定位AFSEM测量头用XYZ样品台+SEM定制适配板与密封间法兰

• 控制器、高压放大器、计算机（在一个控制柜里）+软件

• AFSEM探针

Nanosurf AFSEM 真空环境用原子力显微镜常见测量模式：

Nanosurf AFSEM 真空环境用原子力显微镜图：