Filmetrics F54-XY-200 自动光学膜厚测量仪

Filmetrics F54-XY-200自动光学膜厚测量仪借助光谱反射系统，可以测量尺寸达200 x 200mm样品的薄膜厚度电动XY工作台自动移动到选定的测量点并提供厚度测量，达到每秒两点。您可以从数十种预定义的极性，矩形或线性测量坐标图案中选择，也可以创建自己编辑的测量点数量。此桌面系统只需几分钟即可完成设置，任何具有基本计算机技能的人都可以使用。

产品名称：自动光学膜厚测量仪

品牌： Filmetrics

产品型号： F54-XY-200

产地：美国

Filmetrics F54-XY-200 自动光学膜厚测量仪

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Filmetrics F54-XY-200 自动光学膜厚测量仪产品介绍：

Filmetrics F54-XY-200 自动光学膜厚测量仪借助光谱反射系统，可以测量尺寸达200 x 200mm样品的薄膜厚度电动XY工作台自动移动到选定的测量点并提供厚度测量，达到每秒两点。您可以从数十种预定义的极性，矩形或线性测量坐标图案中选择，也可以创建自己编辑的测量点数量。此桌面系统只需几分钟即可完成设置，任何具有基本计算机技能的人都可以使用。

Filmetrics F54-XY-200 自动光学膜厚测量仪产品特点优势：

自动化薄膜厚度绘图系统，快速定位、实时获得结果；
可测样品膜层：基本上所有光滑的。非金属的薄膜都可以测量；
测绘结果可用2D或3D呈现，方便用户从不同的角度检视；

Filmetrics F54-XY-200 自动光学膜厚测量仪测量原理：

当入射光穿透不同物质的界面时将会有部分的光被反射，由于光的波动性导致从多个界面的反射光彼此干涉，从而使反射光的多波长光谱产生震荡的现象。从光谱的震荡频率，可以判断不同界面的距离进而得到材料的厚度（越多的震荡代表越大的厚度），同时也能得到其他的材料特性如折射率与粗糙度。

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Filmetrics F54-XY-200 自动光学膜厚测量仪工业应用：

半导体膜层	显示技术	消费电子	派瑞林
光刻胶	OLED	防水涂层	电子产品/电路板
介电层	ITO和TCOs	射频识别	磁性材料
砷化镓	空气盒厚	太阳能电池	医学器械
微机电系统	PVD和CVD	铝制外壳阳极膜	硅橡胶

Filmetrics F54-XY-200 自动光学膜厚测量仪参数：

波长范围：	190nm-1700nm	光源：	钨卤素灯、氘灯
测量nk值厚度要求*：	50nm	测量精度2：	0.02nm
准确度*：取较大者	1nm或0.2%	稳定性3：	0.05nm
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