Filmetrics F54-XY-200自动光学膜厚测量仪借助光谱反射系统，可以测量尺寸达200 x 200mm样品的薄膜厚度电动XY工作台自动移动到选定的测量点并提供厚度测量，达到每秒两点。您可以从数十种预定义的极性，矩形或线性测量坐标图案中选择，也可以创建自己编辑的测量点数量。此桌面系统只需几分钟即可完成设置，任何具有基本计算机技能的人都可以使用。
优尼康科技提供的Filmetrics F54-XY-200自动光学膜厚测量测绘仪，采用先进的光谱反射技术，适用于直径达200mm的带图案或无图案样品的薄膜厚度自动测绘。五种配置覆盖膜厚测量范围4nm至120μm，光斑尺寸2μm至100μm，波长范围可配置覆盖190-1700nm。电动XY工作台自动移动到预选测量点，测量速度最高可达每秒2个点位。系统支持数十种预定义的极坐标、矩形、线性测绘图案，也可自定义创建测量点阵，无测量点数量限制。配备自动对焦、图案识别、实时影像、手动/自动倾斜校正等功能，内置反射率和厚度标准片，搭载全面的材料库和先进建模算法。精度达1nm或0.2%，重复性0.02nm，稳定性0.05nm。适用于半导体制造（氧化物/氮化物/SOI、光刻胶）、化合物半导体、LCD液晶显示器（ITO/TCO、聚酰亚胺）、光学涂层（硬质涂层、增透膜）、生物医学薄膜、MEMS微机电系统等行业。优尼康科技提供专业技术支持。
Filmetrics F54-XY-200 自动光学膜厚测量仪借助光谱反射系统，可以测量尺寸达200 x 200mm样品的薄膜厚度电动XY工作台自动移动到选定的测量点并提供厚度测量，达到每秒两点。您可以从数十种预定义的极性，矩形或线性测量坐标图案中选择，也可以创建自己编辑的测量点数量。此桌面系统只需几分钟即可完成设置，任何具有基本计算机技能的人都可以使用。
自动化薄膜厚度绘图系统，快速定位、实时获得结果；
可测样品膜层：基本上所有光滑的。非金属的薄膜都可以测量；
测绘结果可用2D或3D呈现，方便用户从不同的角度检视；
当入射光穿透不同物质的界面时将会有部分的光被反射，由于光的波动性导致从多个界面的反射光彼此干涉，从而使反射光的多波长光谱产生震荡的现象。从光谱的震荡频率，可以判断不同界面的距离进而得到材料的厚度（越多的震荡代表越大的厚度），同时也能得到其他的材料特性如折射率与粗糙度。
半导体膜层 | 显示技术 | 消费电子 | 派瑞林 |
光刻胶 | OLED | 防水涂层 | 电子产品/电路板 |
介电层 | ITO和TCOs | 射频识别 | 磁性材料 |
砷化镓 | 空气盒厚 | 太阳能电池 | 医学器械 |
微机电系统 | PVD和CVD | 铝制外壳阳极膜 | 硅橡胶 |
波长范围： | 190nm-1700nm | 光源： | 钨卤素灯、氘灯 |
测量nk值厚度要求*： | 50nm | 测量精度2： | 0.02nm |
准确度*：取较大者 | 1nm或0.2% | 稳定性3： | 0.05nm |
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