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• 利用纳米压痕技术评估衬底和膜层的脆性

  薄膜力学性能测量, 纳米压痕仪,脆性测试

• KLA Profilm3D 光学轮廓仪

  表面形貌测量,白光干涉轮廓仪,光学轮廓仪

• KURATECA HS华山系列被动式减震台

  减震台,实验室减震,被动式减震台

• KLA Zeta-20 白光共聚焦显微镜

  三维轮廓测量,白光共聚焦轮廓仪,光学轮廓仪

• KLA Zeta-388 光学轮廓仪

  三维轮廓测量,白光共聚焦,光学轮廓仪

• HERZ TS系列 主动式防震台