KLA Zeta-388光学轮廓仪是非接触式三维表面形貌测量系统。该系统在Zeta-300光学轮廓仪的基础上，增加了用于全自动测量的机械手臂操作系统。Zeta-388光学轮廓仪采用ZDot技术和多模组光学系统，可测量各种不同的样品：包括透明与不透明、低至高反射率、光滑到粗糙的表面，以及亚纳米级到毫米级的台阶高度。KLA Zeta-388光学轮廓仪支持OCR和SECS/GEM，从而可用于全自动产线的生产制造。
KLA Zeta-388光学轮廓仪是非接触式三维表面形貌测量系统。该系统在Zeta-300光学轮廓仪的基础上，增加了用于全自动测量的机械手臂操作系统。Zeta-388光学轮廓仪采用ZDot技术和多模组光学系统，可测量各种不同的样品：包括透明与不透明、低至高反射率、光滑到粗糙的表面，以及亚纳米级到毫米级的台阶高度。KLA Zeta-388光学轮廓仪支持OCR和SECS/GEM，从而可用于全自动产线的生产制造。
快速的非接触式三维光学轮廓仪
多模组光学系统提供3D扫描、差分干涉、薄膜厚度和自动缺陷检测
全自动测量
同时提取样品表面的真彩色信息和形貌信息
支持100至200mm的晶圆
支持OCR和SECS/GEM，适用于自动化产线的生产环境
用户界面简洁直观
从纳米级到毫米级的台阶高度，可用于高深宽比台阶测量
从亚纳米级至亚毫米级的表面粗糙度分析，适用于光滑表面和粗糙表面
Z向高分辨率的白光干涉测量，可用于广域台阶高度测量
移相扫描干涉技术可快速测量小于250nm的台阶高度
薄膜应力和样品翘曲测量
测量30nm到100μm透明薄膜的厚度，可提供薄膜均匀性数据和薄膜厚度分布图
自动缺陷检测，可识别横向尺寸大于1μm的缺陷
KLA Zeta-388 光学轮廓仪的原理是通过共聚焦原理实现样品的高分辨率、高对比度的光学切片能力。它结合了传统光学显微镜和激光共聚焦显微镜的特点，利用宽谱白光作为光源，通过空间滤波机制消除离焦光干扰，从而获得高精度的三维图像
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