Profilm3D光学轮廓仪

Filmetrics让3D光学轮廓测量的价格变得更加能够接受。Profilm3D使用最先进的垂直干涉扫描(WLI)与高精度的相位干涉(PSI)技术。以前所未有的价格实现次纳米级的表面形貌研究。

  • 产品名称: Profilm3D光学轮廓仪
  • 品牌: Filmetrics
  • 产品型号: Profilm3D
  • 产地: 美国


Profilm3D 光学轮廓仪





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低成本–高精度

Filmetrics让3D光学轮廓测量的价格变得更加能够接受。Profilm3D使用最先进的垂直干涉扫描(WLI)与高精度的相位干涉(PSI)技术。以前所未有的价格实现次纳米级的表面形貌研究。


100mm自动XY样品台

您还在位每人都希望要的功能而支付额外的费用吗?我们现在每台Profilm3D都将100mm自动XY样品台,4孔物镜转台和手动调平装置作为标准配置



超大的视场范围

Profilm3D仅用10倍物镜就提供了达到2mm的超大视场范围,同时其最大4倍光学变焦的功能缓解了不同应用时切换多个物镜的需求。这些都进一步降低了采购成本。



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  • 特征值

  • 8 μm 台阶高度

  • 精确度是指每天测量30次10um台阶高度标样的1次标准差,连续成功测量20天的平均值。环境温度稳定性小于 1°C。

  • 稳定性是指连续成功测量10um台阶高度标样20天,取每天测量30次数值的平均值,计算2倍标准差。环境温度稳定性小于 1°C。

  • 所有变焦缩放后的有效像素为648 x 484 (通过数位化的pixel binning实现)

  • 分开销售

  • 样品上投影的像素大小

  • 样品表面粗糙时可测最大倾角将更大









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