Filmetrics-F40薄膜厚度测量仪
结合显微镜的薄膜测量系统
Filmetrics F40 SS-Microscope-VIS-1系统 Filmetrics F40-UV SS-Microscope-UVX-1系统
Filmetrics的精密光谱测量系统让用户简单快速地测量薄膜的厚度和光学常数，通过对待测膜层的上下界面间反射光谱的分析，几秒钟内就可测量结果。
当测量需要在待测样品表面的某些微小限定区域进行，或者其他应用要求光斑小至1微米时，可以使用F40。使用先前足部校正显微镜的物镜，再进行测量，即可获得精准的厚度及光学参数值。只要透过Filmetrics的C-mount连接附件，F40就可以和市面上多数的显微镜连接使用。C-mount上装备有CCD摄像头，可以让用户从电脑屏幕上清晰地看样品和测量位置。
* 取决于材料
1.使用5X物镜参考
2.是基于连续20天，每天在Si基底上对厚度为500纳米的SiO2 薄膜样品连续测量100次所得厚度值的标准偏差的平均值
3.是基于连续20天，每天在Si基底上对厚度为500纳米的SiO2薄膜样品连续测量100次所得厚度值的2倍标准偏差的平均值
附加特性
嵌入式在线诊断方式
免费离线分析软件
精细的历史数据功能，帮助用户有效地存储，重现与绘制测试结果
相关应用
半导体制造 生物医学原件
• 光刻胶 • 聚合物/聚对二甲苯
• 氧化物/氮化物 • 生物膜/球囊壁厚度
• 硅或其他半导体膜层 • 植入药物涂层
微电子 液晶显示器
• 光刻胶 • 盒厚
• 硅膜 • 聚酰亚胺
• 氮化铝/氧化锌薄膜滤镜 • 导电透明膜
