Filmetrics F32 光反射式膜厚仪特殊的光谱分析系统采用半宽的3u rack- mount底盘，加上附加的分光计，可达到四个不同的位置(EXR和UVX版本至多两个位置)。F32膜厚仪软件可以通过数字I/O或主机软件来控制启动/停止/复位测量。测量数据可以自动导出到主机软件中进行统计过程控制。还提供可选的透镜组件，以便于集成到现有的生产装置上。
Filmetrics F32 光反射式膜厚仪特殊的光谱分析系统采用半宽的3u rack- mount底盘，加上附加的分光计，可达到四个不同的位置(EXR和UVX版本至多两个位置)。F32膜厚仪软件可以通过数字I/O或主机软件来控制启动/停止/复位测量。测量数据可以自动导出到主机软件中进行统计过程控制。还提供可选的透镜组件，以便于集成到现有的生产装置上。
非接触测量：避免损伤薄膜，适用于脆弱或敏感材料；
高精度与宽量程&：垂直分辨率达纳米级，可测厚度范围从1nm至3mm；
多场景适用性：基本上所有光滑的、半透明的或低吸收系数的薄膜都可以测量。
测量速度快：配置完成后，数秒内即可完成测量。
预装了100多种材料，使得单层和多层薄膜的测量很容易实现
提供可选的透镜组件，以便于集成到现有的生产装置上。
当入射光穿透不同物质的界面时将会有部分的光被反射，由于光的波动性导致从多个界面的反射光彼此干涉，从而使反射光的多波长光谱产生震荡的现象。从光谱的震荡频率，可以判断不同界面的距离进而得到材料的厚度（越多的震荡代表越大的厚度），同时也能得到其他的材料特性如折射率与粗糙度。
薄膜特性：厚度、反射率、透射率、光学常数、均匀性、刻蚀量等
薄膜种类：透明及半透明薄膜，常见如氧化物、聚合物甚至空气
薄膜状态：固态、液态和气态薄膜都可以测量
薄膜结构：单层膜、多层膜；平面、曲面
显示技术 | 消费电子 | 派瑞林 | |
光刻胶 | OLED | 防水涂层 | 电子产品/电路板 |
介电层 | ITO和TCOs | 射频识别 | 磁性材料 |
砷化镓 | 空气盒厚 | 太阳能电池 | 医学器械 |
微机电系统 | PVD和CVD | 铝制外壳阳极膜 | 硅橡胶 |
波长范围： | 380-1050nm | 光源： | 卤素灯 |
厚度测量范围： | 15nm-70um | 测量精度： | 0.02nm |
光斑大小： | 探头距样品距离0.007倍 | 样品台尺寸： | 1mm-300mm |
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