KLA探针式台阶仪P-7

P-7建立在市场领先的P-17台式探针轮廓分析系统的成功基础之上。 它保持了P-17技术的卓越测量性能,并作为台式探针轮廓仪平台提供了极高的性价比。 P-7可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达150mm而无需图像拼接。

  • 产品名称: P-7 Stylus Profiler
  • 品牌: KLA
  • 产品型号: P-7
  • 产地: 美国

P-7 Stylus Profiler



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产品描述

P-7支持从几纳米到一毫米的台阶高度测量,适用于生产和研发环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达150mm而无需图像拼接。


P-7建立在市场领先的P-17台式探针轮廓分析系统的成功基础之上。 它保持了P-17技术的卓越测量性能,并作为台式探针轮廓仪平台提供了极高的性价比。 P-7可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达150mm而无需图像拼接。



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主要功能

  •       台阶高度:几纳米至1000μm

  •       微力恒力控制:0.03至50mg

  •       样品全直径扫描,无需图像拼接

  •       视频:500万像素高分辨率彩色摄像机

  •       圆弧校正:消除由于探针的弧形运动引起的误差

  •       软件:简单易用的软件界面

  •       生产能力:通过测序,模式识别和SECS / GEM实现全自动化


主要应用

  •       台阶高度:2D和3D台阶高度

  •       纹理:2D和3D粗糙度和波纹度

  •       形状:2D和3D翘曲和形状

  •       应力:2D和3D薄膜应力

  •       缺陷复检:2D和3D缺陷表面形貌


工业应用

  •       大学、研究实验室和研究所

  •       半导体和化合物半导体

  •       LED:发光二极管

  •       太阳能

  •       MEMS:微机电系统

  •       数据存储

  •       汽车

  •       医疗设备


主要技术参数

  •       重复性:≤4A (0.10%)

  •       垂直分辨率: 0.01A

  •       水平分辨率(X): 0.025 um

  •       水平分辨率(Y): 0.5 um

  •       采样率: 5~2000 Hz

  •       垂直线性度:

              士0.5%>2000A.

              10As 2000 A

  •       针压范围: 0. 03~50 mg

  •       最大测量长度: 150 mm

              (无需拼接)

  •       扫描速度:2 um/s - 25 mm/s








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